離子源
OIS-One/OIS-Two/OIS-Two Plus
17cm RF Ion Source
OIS-One是光馳自行開發(fā)的離子輔助蒸度高性能射頻（RF）離子源，適應于在高速率下的離子束輔助沉積（IAD）及清洗。搭載在光馳的成膜設(shè)備OTFC-1100,OTFC-1300上適于各種光學濾光片的中規(guī)模量產(chǎn)。 OIS-Two Plus是OIS-Two的延伸機型。在離子輔助蒸鍍大電流大面積的性能方面加以進化的RF離子源，維護性能的優(yōu)化及中和器的改良，提高冷卻效率來達到穩(wěn)定生產(chǎn)的效果。適用于在高速率下離子束輔助沉積（ＩＡＤ）及清洗。搭載在光馳的ＯＴＦＣ-1300，ＯＴＦＣ-1550成膜設(shè)備上可適合于各種光學濾光片的大規(guī)模量產(chǎn)。
- 特征
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同使用燈絲型的離子源比較，壽命長，污染少。
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高離子電流密度和均勻分布，照射面積能達到Ф1150mm以上
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動作安定性高，能長時間運轉(zhuǎn)
- 規(guī)格
- 型號 OIS-One OIS-Two OIS-Two Plus
- 尺寸 φ300mm × 150mm (H)
- 柵網(wǎng)尺寸 Ф 17cm(Molybdenum制3枚)
- 離子束電壓 100V～1500V
- 離子束電流 1000mA 1200mA
- Acc電壓 100V～1000V
- RF功率 600W 750W 1000W
- 氣體流量 20sccm～30sccm（氬氣）40sccm～60sccm（氧氣）
- 使用壓力 5 × 10-2 Pa
- 水冷方式 RF線圈和本體
- 中和器規(guī)格
- 尺寸 φ 6cm × 8cm
